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Products and Technologies

以技术力和信赖为基础打造的AMHS

尊芯AMHS

半导体生产工艺的
实行最高效率体系

Production Process Effciency System

为世界级半导体制造企业准备的自动退货系统
是开发和提供的企业。我们的创新产品
提高半导体生产流程的效率和生产率,
提供稳定性和准确性。
下面介绍集中我们的主要产品:


天车 OHT 自动化搬送装置,可在空中轨道上行驶,能够通过皮带传动起重机构
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升降机 Lifter 主要作用是将硅晶圆跨楼层传送,Lifter的优点在于它可以通
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跨楼层循环式搬送设备 Loop Carry 适用于半导体生产工厂的无尘室,立体自动搬运流水线用于电梯往返
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