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Products and Technologies

以技术力和信赖为基础打造的AMHS

尊芯AMHS

半导体生产工艺的
实行最高效率体系​

Production Process Effciency System

为世界级半导体制造企业准备的自动退货系统
是开发和提供的企业。我们的创新产品
提高半导体生产流程的效率和生产率,
提供稳定性和准确性。
下面介绍集中我们的主要产品:

晶圆盒存储柜 Foup Stocker

无尘室内的临时存储库,有效缩短工艺设备流程结束到下一流程开始
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塔式存储柜 Tower Stocker

用于晶圆(wafer)的储存和管理。它由一个垂直的储存塔和多
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设备缓冲存储柜 NTB(Near Tool Buffer)

作为半导体制造自动化生产线中的一个关键组成部分,主要用于半导
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芯片载具物料货架 E-RACK

用于管理半导体载具FOUP/POD的物料信息,可与上位MES
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头顶缓冲器 OHB

Over Head Buffer,安装于天花板下方,用于存放
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