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设备缓冲存储柜 NTB(Near Tool Buffer)
NTB(Near Tool Buffer)作为半导体制造自动化生产线中的一个关键组成部分,具有物料储存和传输、自动化控制、数据管理、设备管理和环境控制等多种特点,以满足不同的生产需求。