Over Head Buffer，安装于天花板下方，用于存放FOUP
可实现与OHT的自动对接，减少地面占地空间，可以布置更多生产设备
增加立体空间以提升Foup在有限空间内的存储量
头顶缓冲器 OHB
芯片载具物料货架 E-RACK
用于管理半导体载具FOUP/POD的物料信息，可与上位MES进行通讯，更新实时位置，节省人员寻找的时间，进而提升生产管理
设备缓冲存储柜 NTB(Near Tool Buffer)
| 作为半导体制造自动化生产线中的一个关键组成部分，主要用于半导体物料的储存和传输，兼具自动化控制、数据管理、环境控制等功能。 |
塔式存储柜 Tower Stocker
用于晶圆（wafer）的储存和管理。它由一个垂直的储存塔和多个水平的晶圆架构成，可以存储大量的晶圆，同时确保每个晶圆都可以轻松访问。可以实现自动化管理，减少人工干预的需求，提高生产线的效率和精度。
Continue reading晶圆盒存储柜 Foup Stocker
无尘室内的临时存储库，有效缩短工艺设备流程结束到下一流程开始之间的时间差，提高效率。
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